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砷磷烷凈化劑
三和砷磷烷凈化劑由精選金屬氧化物、自制高吸附基材等材料及特殊化學(xué)添加劑構成。它通過(guò)高效的吸附和化學(xué)反應機制,專(zhuān)門(mén)針對氣體中的砷烷(AsH?)和磷烷(PH?)雜質(zhì)進(jìn)行去除,實(shí)現氣體的高純度凈化。
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